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MEMS传感器

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
常见的MEMS传感器包括加速度传感器、压力传感器、微机械陀螺、惯性传感器等多种用途的传感器。

产品型号:

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。

常见的MEMS传感器包括加速度传感器、压力传感器、微机械陀螺、惯性传感器等多种用途的传感器。


性能指标


陀螺仪

加速计


典型值

最大值

典型值

最大值

标准全量程

450°/s

-

50m/s2

-

偏差重复性(1年)

0.2°/s

0.5°/s

0.03m/s2

0.05m/s2

运行偏差稳定性

10°/h

-

40 μg

-

带宽 (-3 dB)

415 Hz

不适用

375Hz

不适用

G-敏感度(校准)

0.003°/s/g

0.015°/s/g

不适用

不适用

非正交性

0.05

-

0.05

-

非线性

0.01% FS

-

0.03% FS

0.5% FS


包括惯性测量单元(IMU)和姿态参考系统(AHRS),已广泛应用于车辆姿态测量、机器人控制、无人机飞控系统、导弹导引头、通讯卫星天线、姿态控制、惯性导航等多个领域,部分产品已能够替代光学陀螺仪。


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